熱式氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BDD-S030C

熱式氣體質(zhì)量流量控制器
型號：BDD-S030C
流量：50SCCM
精度：1% F.S
本體數(shù)顯的流量控制器，操作簡單，示數(shù)直觀，無需連接分體數(shù)顯表，無需PLC編程，數(shù)字模擬量通訊均可！一鍵操作
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘）、SLM（標準升每分鐘）

熱式氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BDD-S030C

標準狀況：溫度--293.15K(20℃)
壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
型號：BDD-S030C
流量規(guī)格（氮氣）：0-10sccm/10sccm-50slm
控制量程：2%-100 %
精度：≤±1.0%F.S
線性：≤±0.5%F.S
重復(fù)性：≤±0.2%F.S
閥門類型：常閉閥
響應(yīng)時間：1-3sec
耐壓：≤0-50Bar
通信信號：0-5V/4-20mA/Rs485
供電方式：14VDC--27VDC (300mA)
泄*漏率：1×10-9atm. cc/sec He

熱式氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BDD-S030C

應(yīng)用行業(yè)：真空鍍膜設(shè)備、石油化工、航空、航天、醫(yī)藥、制造業(yè)、火電、核電、天*然*氣、加氣站、液晶面板制造半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能*源與環(huán)境設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研實驗室設(shè)備等行業(yè)的公司等